Ngày 22/11/2017, tại Hà Nội, Viện Chiến lược và Chính sách khoa học và công nghệ (KH&CN) và Vụ Công nghệ cao phối hợp tổ chức tọa đàm khoa học “Tầm nhìn về công nghệ chế tạo siêu vi mạch bán dẫn trong tương lai và khả năng ứng dụng phục vụ phát triển kinh tế - xã hội của Việt Nam”. Tọa đàm có sự tham dự của đông đảo các nhà quản lý, chuyên gia trong lĩnh vực công nghệ bán dẫn đến từ các viện nghiên cứu, trường đại học trên cả nước.
Tại buổi Tọa đàm, các đại biểu đã được nghe GS.TSKH Trần Đức Chỉnh - nguyên thành viên Chiến lược phát triển công nghệ cho tương lai, thuộc XTREME Technologies Corp., (CHLB Đức) giới thiệu tầm nhìn về công nghệ chế tạo siêu vi mạch bán dẫn trong tương lai và khả năng ứng dụng một số kết quả nghiên cứu phát triển công nghệ cho tương lai để chế tạo thiết bị, phục vụ đời sống dân sinh, đóng góp vào sự nghiệp bảo vệ an ninh xã hội và toàn vẹn lãnh thổ của Việt Nam.Theo GS.TSKH Trần Đức Chỉnh, chế tạo các vi mạch bán dẫn (chip) có tốc độ xử lý tín hiệu siêu nhanh cũng như chip bộ nhớ điện tử siêu mạnh, cho phép xây dựng hệ thống điều khiển các quá trình chuyển động cực nhanh. Nó sẽ mang lại bước nhảy, phát triển vượt bậc của công nghệ sản xuất thiết bị điện tử và kỹ thuật quốc phòng. Công nghệ mới hiện đại này được gọi là “công nghệ chế tạo chip bán dẫn siêu cấu trúc sử dụng kỹ thuật quang khắc với photon siêu cực tím”, gọi tắt là công nghệ EUVL.
GS.TSKH Trần Đức Chỉnh đã là một thành viên của Ủy ban chiến lược, tham gia điều hành dự án chế tạo nguồn Plasma phát photon EUV ở XTREME technologies Corp, sử dụng để chế tạo chip bán dẫn thế hệ mới dùng trong công nghệ của tương lai. Nguồn phát photon EUV do XTREME technologies của Đức chế tạo và hệ Scanner do Ecitech Corp xây dựng là hệ có quy mô công nghiệp đầu tiên trên thế giới đặt tại SEMATCH, Mỹ năm 2004 và vẫn hoạt động tốt đến nay. Cũng trong năm 2004, XTREME technologies chuyển giao hệ bán công nghiệp đầu tiên trên thế giới cho hãng INTEL, đặt nền móng cho chế tạo siêu chip bán dẫn cho công nghệ của tương lai. Hệ này đến nay vẫn hoạt động tốt. Nhiều hệ thiết bị công nghệ EUV khác hoàn thiện hơn, công suất lớn hơn đã được chế tạo, chuyển giao đến Nhật, Mỹ, EU, Hàn Quốc, Đài Loan,… Apple là hãng tiêu thụ nhiều siêu chip nhất thế giới, sản lượng bán ra hàng năm khoảng 14 tỷ USD.
Toàn cảnh buổi Tọa đàm.
Viện Khoa học Vật liệu (Viện Hàn lâm KH&CN Việt Nam) từ lâu đã có hợp tác khoa học chặt chẽ với Viện Ferdinand-Braun, Berlin CHLB Đức. Cán bộ khoa học của Viện đã tham gia cùng đồng nghiệp của Viện Ferdinand-Braun chế tạo và phát triển linh kiện quang, kích thước nhỏ (100x28x12mm) làm đầu dò cho hệ thiết bị quang phổ Raman Vi phân cầm tay, chuyên gia Trần Đức Chỉnh cho biết.
Theo các chuyên gia, trong quá trình phát triển KH&CN toàn cầu, công nghệ bán dẫn ngày càng chứng minh vai trò quan trọng trong việc góp phần tạo nên những bước tiến vượt bậc, những tiến bộ của công nghệ bán dẫn đã giúp tối ưu hóa hệ thống, ngày càng thu nhỏ kích thước thiết bị, tiết kiệm năng lượng, góp phần bảo vệ môi trường, đem lại cuộc sống an toàn, chất lượng. Trên cơ sở phân tích nguyên lý chế tạo siêu vi mạch bán dẫn của các hãng công nghệ hàng đầu trên thế giới như Intel (Mỹ), Samsung (Hàn Quốc), TSMC (Đài Loan)…, các đại biểu đã cùng nhau thảo luận, đưa ra một số giải pháp giúp Việt Nam tiếp cận, ứng dụng được các kết quả nghiên cứu này cho đời sống dân sinh, đóng góp vào sự nghiệp bảo vệ an ninh xã hội và toàn vẹn lãnh thổ của Tổ quốc.
Tin, ảnh: Hạnh Nguyên