Cụm công trình “Nghiên cứu chế tạo một số cảm biến khí có độ nhạy cao trên cơ sở vật liệu nano ô xít kim loại bán dẫn và tổ hợp nano các bon bằng công nghệ vi điện tử” của GS.TS. Nguyễn Đức Chiến và các cộng sự là một trong 17 công trình, cụm công trình được tặng Giải thưởng Nhà nước về khoa học và công nghệ đợt 6.
Cụm công trình đã đề xuất được cơ chế hình thành vật liệu nano với cấu trúc và hình thái khác nhau dựa trên hiệu ứng lượng tử và hiệu ứng bề mặt. Nghiên cứu đã phát hiện các tính chất đặc biệt, ưu việt của vật liệu cấu trúc nano so với vật liệu khối, các hiệu ứng lượng tử kích thức trong cấu trúc thấp chiều của linh kiện cảm biến khí nano. Đề xuất nguyên lý hoạt động và đặc trưng vận chuyển hạt tải của các cảm biến khí mới.
Nhóm nghiên cứu đã làm chủ công nghệ lõi chế tạo vật liệu nano và cảm biến trên cơ sở vật liệu nano, các phương pháp khảo sát tính chất của vật liệu, phương pháp đóng gói và đo đạc linh kiện cảm biến, thiết kế và chế tạo thiết bị.
Đặc biệt đã thành công trong việc ứng dụng công nghệ vi điện tử chế tạo dây nano bán dẫn trên chip, từ đó phát triển được mẫu cảm biến tự đốt nóng, độ nhạy siêu cao với công suất tiêu thụ nhỏ hơn sản phẩm thương mại tốt nhất trên thế giới hiện nay. Đặc biệt, bước đầu đã thiết kế, chế tạo các đa cảm biến có thể đồng thời xác định 5 loại khí khác nhau, tiền đề cho việc phát triển thế hệ "mũi điện tử" hiện nay.
Tin, ảnh: Linh Chi
