Mục tiêu cụ thể của đề tài là nghiên cứu và chế tạo một số vi cơ cấu phục vụ cho hệ thống micro robot như bánh răng truyền động, mô tơ dẫn, tay kẹp… sử dụng công nghệ vi cơ điện tử (MEMS). Đây là những bộ phận quan trọng để tạo nên một hệ thống micro robot ứng dụng trong nghiên cứu vật liệu mới với mục đích vận chuyển, phân loại, kiểm tra vi mẫu (như các ống cacbon kích thước nano) hoặc trong các phòng thí nghiệm y sinh để chuyên chở và kiểm tra mẫu máu, mẫu tế bào cần xét nghiệm.

Sau ba năm thực hiện, nhóm nghiên cứu đã đạt được một số kết quả là chế tạo thành công sản phẩm vi cơ cấu như mô tơ tĩnh điện, hệ bánh răng, hệ thống tay kẹp sử dụng lực tĩnh điện hoặc nhiệt, mặt nạ chủ; lập bản vẽ thiết kế hệ thống mô tơ, bánh răng, tay kẹp; lập được một bộ quy trình chế tạo chíp dùng mặt nạ đơn và tấm silic kép (SOI) dựa trên công nghệ vi cơ khối. Các tài liệu, báo cáo của đề tài có thể dùng làm tài liệu tham khảo có giá trị cho đào tạo đại học và sau đại học.

Kết quả của đề tài thể hiện tính mới trong thiết kế cấu trúc hệ thống mô tơ/bánh răng và sản phẩm chính đạt được. Nhóm nghiên cứu đã nắm bắt và làm chủ một loại công nghệ MEMS tiên tiến là công nghệ vi cơ khối, có thể sử dụng và hiệu chỉnh các máy móc hiện đại phục vụ quá trình gia công. Trong tương lai, đề tài có thể được phát triển ở quy mô lớn hơn nhằm tạo ra một sản phẩm hoàn thiện và có tính ứng dụng cao ví dụ như hệ thống vi bơm dùng trong y tế để bơm thuốc/hóa chất (vi lượng) vào các khu vực cần điều trị/trị xạ trong cơ thể con người.

Các thiết bị vi cơ điện tử chế tạo bằng công nghệ MEMS hiện đang được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực như các cảm biến đo áp suất lốp, đo gia tốc trên ô tô, đo lực…và có tiềm năng ứng dụng cho các sản phẩm vi cơ điện tử trong y học, công nghệ y sinh và vật liệu mới.

Ở Việt Nam, công nghệ MEMS bắt đầu được quan tâm phát triển trong vài năm gần đây tại một số trung tâm nghiên cứu lớn như Đại học Quốc gia Hà Nội, Đại học Quốc gia TPHCM, Viện Khoa học Vật liệu – thuộc Viện Khoa học Việt Nam, Đại học Bách khoa Hà Nội…